Материалы и элементы электронной техники. Тонкопленочные многослойные структуры и солнечные элементы на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния
Покупка
Тематика:
Микроэлектроника. Наноэлектроника
Издательство:
Издательский Дом НИТУ «МИСиС»
Автор:
Полисан Андрей Андреевич
Год издания: 2007
Кол-во страниц: 17
Дополнительно
Доступ онлайн
2 000 ₽
В корзину
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001. Соответствует программе курса «Материалы и элементы электронной техники». Предназначен для студентов, обучающихся по специальностям 150601 «Материаловедение и технология новых материалов» и 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
Тематика:
ББК:
УДК:
ОКСО:
- ВО - Бакалавриат
- 22.03.01: Материаловедение и технологии материалов
ГРНТИ:
Скопировать запись
Фрагмент текстового слоя документа размещен для индексирующих роботов
№ 1247 ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ Кафедра материаловедения полупроводников и диэлектриков А.А. Полисан Материалы и элементы электронной техники Тонкопленочные многослойные структуры и солнечные элементы на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния Учебное пособие Рекомендовано редакционноиздательским советом института Москва Издательство ´УЧЕБАª 2007
УДК 621.382 П50 Р е ц е н з е н т канд. физ.-мат. наук, доц., зам. директора ИФХМ Ю.В. Осипов Полисан А.А. П50 Материалы и элементы электронной техники. Тонкопленочные многослойные структуры и солнечные элементы на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния: Учеб. пособие. – М.: МИСиС, 2007. – 17 с. В учебном пособии рассмотрены базовые технологические процессы, использующиеся при изготовлении тонкопленочных многослойных структур и солнечных элементов на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния. Приведены конструктивные особенности таких приборов. Для усвоения предлагаемого материала студенту необходимо знать физические принципы работы солнечных элементов. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальностям 150601 «Материаловедение и технология новых материалов» и 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника». © Московский государственный институт стали и сплавов (технологический университет) (МИСиС), 2007
Доступ онлайн
2 000 ₽
В корзину