ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДОВ МАТЕМАТИЧЕСКОЙ СТАТИСТИКИ ДЛЯ ИДЕНТИФИКАЦИИ ПРОЦЕССА ГИДРОТЕРМАЛЬНОГО ВЫРАЩИВАНИЯ КВАРЦА
Покупка
Основная коллекция
Год издания: 1985
Кол-во страниц: 1
Дополнительно
Скопировать запись
Фрагмент текстового слоя документа размещен для индексирующих роботов
В.С.Воробьев,М.В.ГолоЕзцына, В.Д.Голышев, Б. А . Дорого е с т , Т.Н.Павлова, Н.З.Подошва, Д.Н.Романов, С.И.Тертычный (БНИИСИМС) ПЕС.ЕН2НИЗ МЕТОДОВ :ЖЕЖТИЧЗСКОЙ СТАТИСТИКИ ДЛЯ И Е Ш Ш П Ш Ш ПРОЦЕССА ШДГОТЖАЛЪНСГЭ ЗЫРАЕ5ПЗАНЙЯ КВАРЦА На основании анализа промышленной статистики проведена идентификация технологического процесса гидротермального выращивания кварца. Разработаны программы для ЗК,1 EC-I022, основаннне на различных статистических методах. Б ш ш построены уравнения: множественной регрессии, позволяющие рассчитать параметры синтеза и вести контроль за скоростью роста и толщиной нароста. Адекватность модели проверялась по критерию Фишера. Значимость коэффициентов уравнения определялась по критерии Стыодента. Статистический анализ параметров гидротермального процесса выращивания позволил определить количественное влияние определяющих параметров на скорость роста кристаллов и их качество.Эти параметры заложены в качестве неходких в линейную модель,которая используется для управления технологически;.? процессом. Показано, что для повышения достоверности результатов необходимо построение нелинейной модели.Предлагается метод, позволяющий сократить число рассматриваемых параметров в окончательной модели путем деления технологического процесса на этапы. Для каждого этапа статистически® методами находится фрагмент модели с выделением минимально возможного количества наиболее сугзствеяных факторов. Совокупность такого рода частных зависимостей считается упрощенной математической моделью процесса. Предлагается способ проверки адекватности модели в условиях, когда погрешность измерения параметров сравнима с их вариацие:". 128