ПРОБЛЕМЫ И ПРИНЦИПЫ СОЗДАНИЯ АСУ ТП РОСТА КРИСТАЛЛОВ

М. В .Головицына • В.Д.Голшев, 
А.А.Пушн, Л.Н.Романов 
(ВНИИСШС) 

ПРОБЛЕМЫ И ПРИНЦИПЫ СОЗДАНИЯ АСУ ТП РОСТА 
КРИСТАЛЛОВ 

Проводится обзор существующих автоматизированных систем управления технологическими процессами, в том числе и процессами 
роста кристаллов. 

На примере технологии синтеза кварца обсуждаются особенности 
и проблемы идентификации процессов тепло- и массообмена при росте кристаллов и подготовительных технологических стадий. 

Предлагается комплекс параметров и методов для адекватного 
описания технологических стадий синтеза, критериев качества продукция и управления процессом роста. 

На основе приведенного анализа технологии выращивания кристаллов обсуждаются требования к АСУ Ш роста кристаллов и основные 
принципы ее построения. 
т?с