Микроэлектромеханические коммутационные приборы

Учебное пособие посвящено сравнительно новому и перспективному типу коммутационных приборов — микроэлектромеханическим (МЭМС) коммутаторам. МЭМС-коммутаторы сочетают преимущества коммутационных приборов на основе механического контакта проводников — герконов, микропереключателей, электромагнитных реле (малое переходное сопротивление, высокое сопротивление изоляции, широкий частотный диапазон) и микроэлектронных полупроводниковых коммутационных приборов (миниатюрность, малое время переключения, низкое энергопотребление). В настоящем пособии рассмотрены основные типы МЭМС-коммутаторов, в том числе радиочастотные (RF), инерционные и магнитоуправляемые МЭМС-коммутаторы. Приведено описание конструкций, принципов работы, материалов, технологий производства и базовых эксплуатационных характеристик. Рассмотрены основные области применения МЭМС-коммутаторов — от различных сенсорных устройств до переключателей радиочастотных сигналов гигагерцевого диапазона. Отдельная глава посвящена контактным покрытиям МЭМС-коммутаторов, во многом определяющим их ключевые эксплуатационные параметры — контактное сопротивление и срок службы.