Обучение чтению научной литературы на английском языке по специальности «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»

Московский государственный технический университет  
имени Н.Э. Баумана 

И.В. Стасенко, Е.А. Рублева, А.А. Забровская 
 
 
Обучение чтению  
научной литературы  
на английском языке  
по специальности  
«Инженерные нанотехнологии  
в приборостроении» 
 
 
Методические указания 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

М о с к в а  

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана 

2 0 1 3  

УДК 621.396.6 
ББК 81.2 Англ-923 
С77 
Рецензент А. Г. Васильева  

 
Стасенко И. В.  
  
 
      Обучение чтению научной литературы на английском 
языке по специальности «Инженерные нанотехнологии в 
приборостроении» : метод. указания / И. В. Стасенко, Е. А. Руб- 
лева, А. А. Забровская. — М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 
2013. — 42, [6] с. : ил. 

 
 
 
ISBN 978-5-7038-3723-8 

Методические указания состоят из трех уроков (модулей), начинающихся базовыми текстами А и развивающими тему более развернуто текстами В и С. Каждый текст снабжен терминологическим 
словарем, облегчающим работу студентов с неадаптированной научной литературой, что особенно важно на начальном этапе учебного процесса. 
Грамматические упражнения стимулируют повторение сложных иноязычных конструкций с новым лексическим наполнением. 
Задания на составление плана текста и распределение его ключевых 
фрагментов в более упорядоченной логической последовательности 
позволяют выработать у студента первичные навыки аннотирования 
и реферирования. 
Для студентов старших курсов факультета «Радиоэлектроника 
и лазерная техника», обучающихся по специальности «Инженерные 
нанотехнологии в приборостроении». 
Рекомендовано Учебно-методической комиссией Научно-учебного комплекса «Фундаментальные науки» МГТУ им. Н.Э. Баумана. 
 
 
УДК 621.396.6 
ББК 81.2 Англ-923 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
ISBN 978-5-7038-3723-8  
 
       МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2013 

С77 

ПРЕДИСЛОВИЕ 

Целью данных методических указаний является обучение студентов старших курсов специальности «Инженерные нанотехнологии в приборостроении» разным подходам к извлечению 
информации при работе с оригинальными научными текстами. 
Таким образом, студенты должны овладеть различными уровнями 
проникновения в суть излагаемого материала, а также научиться 
точно переводить неадаптированную научную литературу по 
своей специальности и приобрести первичные навыки аннотирования и реферирования. 
Выбор 
тематики 
текстов 
(микроэлектромеханические 
системы — МЕМС) обусловлен необходимостью специализации в 
этой области студентов кафедры «Технологии приборостроения» 
(РЛ-6), а также признанием этого направления науки международным научным сообществом в качестве одного из наиболее 
перспективных в XXI в. Считается, что эта инновационная технология позволит произвести качественно новые, революционные 
изменения во многих областях науки, индустрии и производства. 
Мощный потенциал МЕМС в настоящее время уже обеспечивает 
технологический инновационный прорыв в области оптических 
телекоммуникаций, беспроводных средств связи, биомедицины, 
управления 
процессами 
и 
т. д. 
Основными 
и 
особыми 
преимуществами МЕМС являются их междисциплинарная природа, 
техника группового производства, делающие эту технологию даже 
более успешной, чем микрочипы интегральных схем. 
Перед проработкой каждого текста необходимо внимательно 
ознакомиться со словарем, предваряющим текст и содержащим 
терминологическую лексику. Следует выучить предлагаемые термины. Усвоение терминов создает предпосылки для дальнейшего 
беспереводного понимания научной литературы по изучаемой теме. 

Послетекстовые упражнения подразделяются на следующие 
три типа: 1) упражнения на контроль понимания прочитанного, 
позволяющие концентрировать внимание на основных идеях, фактах, данных, явлениях, законах, выводах, точках зрения и т. д. с 
целью адекватной их передачи на русском языке; 2) разнообразные 
грамматические упражнения на распознавание и перевод сложных 
иноязычных конструкций. Эти упражнения построены на лексическом материале, взятом из оригинальных источников, и позволяют 
студентам повторить, распознать и правильно перевести грамматические конструкции, представленные в новом лексическом окружении. 
Авторы выражают большую благодарность доцентам кафедры 
РЛ-6 Е.А. Скороходову и К.В. Малышеву за консультации при 
подборе текстового материала. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

INTRODUCTION 

Imagine a machine so small that it is imperceptible to the human 
eye. Imagine working machines no bigger than a grain of pollen. 
Imagine thousands of these machines batch fabricated on a single piece 
of silicon, for just a few pennies each. Imagine a world where gravity 
and inertia are no longer important, but atomic forces and surface 
science dominate. Imagine a silicon chip with thousands of microscopic 
mirrors working in unison, enabling the all optical network and 
removing the bottlenecks from the global telecommunications 
infrastructure. You are now entering the microdomain, a world 
occupied 
by 
an 
explosive 
technology 
known 
as 
MEMS 
(MicroElectroMechanical Systems). A world of challenge and 
opportunity, where traditional engineering concepts are turned upside 
down, and the realm of the “possible” is totally redefined. 
MEMS has been identified as one of the most promising 
technologies for the 21st century and has the potential to revolutionize 
both industrial and consumer products by combining silicon-based 
microelectronics with micromachining technology. If semiconductor 
microfabrication was seen to be the first micromanufacturing 
revolution, MEMS is the second revolution. Its techniques and 
microsystem-based devices have the potential to dramatically affect of 
all of our lives and the way we live.  
The term used to define MEMS varies in different parts of the 
world. In the United States they are predominantly called MEMS, while 
in 
Europe 
they 
are 
called 
Microsystem 
Technology. 
The 
micromechanical 
components 
are 
fabricated 
by 
sophisticated 
manipulations of silicon and other substrates using micromachining 
processes. Processes such as bulk and surface micromachining, as well 
as high-aspect-ratio micromachining selectively remove parts of the 
silicon or add additional structural layers to form the mechanical and 

electromechanical components. While integrated circuits are designed 
to mechanical properties or both its electrical and mechanical 
properties. 
The interdisciplinary nature of MEMS utilizes design, engineering 
and manufacturing expertise from a wide and diverse range of technical 
areas including integrated circuit fabrication technology, mechanical 
engineering, materials science, electrical engineering, chemistry and 
chemical 
engineering, 
as 
well 
as 
fluid 
engineering, 
optics, 
instrumentation and packaging. MEMS can be found in systems 
ranging across automotive, medical, electronic, communication and 
defence application.  

LESSON 1 

Memorize the following basic vocabulary and terminology to 
text 1A: 
actuate v — приводить в действие 
batch fabrication — групповое изготовление, изготовление 
методом групповой технологии 
batch processing — групповая обработка 
deployment n — развертывание  
diversity n — разнообразие, многообразие 
functionality n — функциональные возможности 
gear n — шестеренка 
lever n — рычаг 
micropositioner n — позиционирующее устройство, устройство 
точного позиционирования 
overwhelming adj — огромный, несметный 
pervasive adj — распространяющийся повсюду 
process control — управление технологическим процессом 
projection display — проекционный экран 
synergy n — синергия, совместное действие, совместная 
деятельность 
technique n — метод, способ 
 
Read text 1A and answer the questions. 

Text 1A 
What is MEMS? 

MEMS is a process technology used to create tiny integrated 
devices or systems that combine mechanical and electrical components. 
They are fabricated using integrated circuit (IC) batch processing 

techniques and can range in size from a few micrometers (10–6 m = 
=  0,000001 m). These devices (or systems) have the ability to sense, 
control and actuate on the micro scale, and generate affects on the 
macro scale. The types of MEMS devices can vary from relatively 
simple structures having no moving elements, to extremely complex 
electromechanical systems with multiple moving elements under the 
control of integrated microelectronics. The one main criterion of 
MEMS is that there are at least some elements having some sort of 
mechanical functionality whether or not these elements can move. 
Although MEMS is referred to as MST (Microsystems technology), 
MEMS is a process technology used to create tiny mechanical devices 
or systems, and as a result, it is a subset of MST. Sometimes MEMS 
and nanotechnology are terms that are used interchangeably, because 
they both deal with microminiaturized objects. However, they are 
vastly different. MEMS deals with creating devices that are measured 
in micrometers, whereas nantotechnology deals with manipulating 
atoms at the nanometer level. 

 
 
Sample Micromachines 

MEMS devices are very small; their components are usually 
microscopic. Levers, gears, pistons, as well as motors and even steam 
engines have all been fabricated by MEMS. However, MEMS is not 
just about the miniaturization of mechanical components or making 
things out of silicon. MEMS is a manufacturing technology; a paradigm 
for designing and creating complex mechanical devices and systems as 
well as their integrated electronics using batch fabrication techniques. 
From a very early vision in the 1950’s, MEMS has gradually made 
its way out of research laboratories and into everyday products. In the 
mid-1990’s, MEMS components began appearing in numerous 
commercial products and applications including accelerometers used to 
control airbag deployment in vehicles, pressure sensors for medical 
applications, and inkjet printer heads. Today, MEMS devices are also 
found in projection displays and for micropositioners in data storage 
systems. However, the greatest potential for MEMS devices lies in new 
applications within telecommunications (optical and wireless), 
biomedical and process control areas. 
MEMS has several distinct advantages as a manufacturing 
technology. In the first place, the interdisciplinary nature of MEMS 
technology and its micromachining techniques, as well as its diversity 
of applications has resulted in an unprecedented range of devices and 
synergies across previously unrelated fields (e.g. biology and 
microelectronics). Secondly, MEMS with its batch fabrication 
techniques enable components and devices to be manufactured with 
increased performance and reliability, combined with the obvious 
advantages of reduced physical size, volume, weight and cost. Thirdly, 
MEMS provides the basis for the manufacture of products that cannot 
be made by other methods. These factors make MEMS potentially a far 
more pervasive technology than even the success of integrated circuit 
microchips. However, there are many challenges and technological 
obstacles associated with miniaturization that need to be addressed and 
overcome before MEMS can realize its overwhelming potential.  
2892 
 
Task 1. Answer the following questions. 

1. How are MEMS produced? 2. What are these systems able to do? 
3. What are the structures of MEMS and how do they differ? 4. How 
are MEMS different from nanotechnologies in terms of the size?  

5. What is MEMS technology used for? 6. What are the most common 
MEMS applications? 7. What are the main advantages of MEMS? 

Task 2. Find and put down key words expressing the main idea of 
each paragraph in the text. 

Task 3. Give headings to all paragraphs using key words. 

Task 4. Discuss the general issues of MEMS, their advantages and 
perspectives of their application. 
 
Memorize the following basic vocabulary and terminology to 
text 1B: 
augment v — усиливать; увеличивать 
convert v — преобразовывать 
fertile adj — богатый, изобилующий 
imply v — подразумевать; иметь в виду 
overlap v — перекрывать; частично совпадать 
perception n — восприятие; понимание 
redirect v — переориентировать 
unprecedented adj — беспрецедентный 
 
Read text 1B and answer the questions after the text. 

Text 1B  
MEMS Classifications 

In the most general form, MEMS consist of mechanical 
microstructures, microsensors, microactuators, and microelectronics, 
all integrated onto the same silicon chip. This is shown schematically 
in Fig. 1. 
A sensor is a device that measures information from a surrounding 
environment and provides an electrical output signal in response to the 
parameter it measured. Over the years this information has been 
categorized in terms of the type of energy domains but MEMS devices 
generally overlap several domains or do not even belong in any one 
category (See table 1). An actuator is a device that converts an 
electrical signal into an action. It can create a force to manipulate itself, 
other mechanical devices, or the surrounding environment to perform 
some useful function. There are a number of microactuators including