Тестовые задачи по технологии микромеханических гироскопов и акселерометров

Московский государственный технический университет 
имени Н.Э. Баумана 

А.Р. БАХРАТОВ 

 

ТЕСТОВЫЕ ЗАДАЧИ ПО ТЕХНОЛОГИИ  
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ГИРОСКОПОВ  
 И АКСЕЛЕРОМЕТРОВ 

Рекомендовано Научно-методическим советом  
МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия 

Москва 
Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана 
2009 

УДК 531.383+531.768(075.8) 
ББК 34.96 
Б30 

Рецензенты: Ю.И. Бадин, А.С. Чижов 

Бахратов А.Р. 
Б30 
Тестовые задачи по технологии микромеханических гиро- 
скопов и акселерометров : учеб. пособие / А.Р. Бахратов. – М.: 
Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009. – 35, [1] с. 
 
Изложены технологические задачи, часто встречающиеся в практике изготовления микромеханических приборов – гироскопов и акселерометров. Даны необходимые для решения задач теоретические 
сведения. 
Для студентов, обучающихся специальности «Приборы и системы ориентации, стабилизации и навигации». 

УДК 531.383+531.768(075.8) 
                                               ББК 34.96 

Учебное издание 

Бахратов Ануфрий Рафаилович  

Тестовые задачи по технологии микромеханических  
гироскопов и акселерометров 

Редактор О.М. Королева 
Корректор М.А. Василевская 
Компьютерная верстка А.Ю. Ураловой 

Подписано в печать 07.12.2009. Формат 60×84/16. 
Усл. печ. л. 2,09. Тираж 100 экз. Изд. № 55. Заказ 

Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана. 
Типография МГТУ им. Н.Э. Баумана. 
105005, Москва, 2-я Бауманская, 5. 

 
 МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2009 

СПИСОК ПРИНЯТЫХ СОКРАЩЕНИЙ 

ММА – микромеханический акселерометр 
ММГ – микромеханический гироскоп 
МСТ – микросистемная техника 
МЭМС – микроэлектромеханическая система 
ОСиН – ориентация, стабилизация и навигация 
ТП – технологический процесс 
ХДП – химико-динамическая полировка 
ХМП – химико-механическая полировка 

ЗАДАЧИ 

1. В приборах ориентации, стабилизации и навигации применяют изделия, которые обозначают аббревиатурой МЭМС. 
Охарактеризуйте термин МЭМС, что это: 
а) модульная электромеханическая система; 
б) малогабаритная электромагнитная система; 
в) микроэлектромеханическая система? 
2. В чем заключается принципиальное различие обычной электромеханической системы (гироскопа, акселерометра) и МЭМС: 
а) в ограниченных минимальными размерами элементах; 
б) в особенностях взаимосвязи между электрическими и механическими элементами; 
в) в единстве технологии изготовления и взаимосвязи между 
элементами? 
3. В приборах ОСиН разного применения объединяются изделия МСТ, а также узлы и элементы, имеющие функциональное 
целевое назначение, изготовленные по различным технологиям. 
Эти изделия, узлы и детали имеют разные массогабаритные характеристики и разные принципы действия. 
В чем заключается различие между изделием МСТ и комплексированным изделием МСТ: 
а) в наличии большого количества входящих в состав прибора 
элементов; 
б) во взаимосвязи нескольких изделий МСТ внутри прибора 
или взаимосвязи изделия МСТ с микросистемой из обычных элементов? 
4. Кварцевое стекло как материал, обладающий минимальными 
потерями на внутреннее трение и гистерезис, максимальной добротностью при высокой стабильности физико-механических характеристик, используют для изготовления ответственных деталей 
ММГ и ММА, в том числе маятника акселерометра. Кварцевое 
стекло в заготовках может быть получено несколькими технологическими способами: 
а) вакуумной плавкой минерального кристаллического сырья в 
печи с последующей осадкой расплава инертным газом; 
б) выращиванием «були» путем наплавки в пламени кислородно-водородной горелки на подвижную мишень расплава минерального кристаллического сырья;