Оценка погрешности позиционирования прецизионного оборудования

Московский государственный технический университет 
имени Н.Э. Баумана 

Ю.С. Боброва, А.Т. Каменихин, Ю.Н. Литвак 

Оценка погрешности позиционирования  
прецизионного оборудования 

Методические указания к выполнению лабораторных работ  
по дисциплине «Основы проектирования и эксплуатации  
нанотехнологического оборудования» 
 

 

 
 

 

 

 
 
 

УДК 621.3.049.75; 621.95 
ББК 34.41 
 
О93 

Издание доступно в электронном виде на портале ebooks.bmstu.ru 
по адресу: http://ebooks.bmstu.ru/catalog/44/book1642.html 
Факультет «Машиностроительные технологии» 
Кафедра «Электронные технологии в машиностроении» 

Рекомендовано Редакционно-издательским советом  
МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебно-методического пособия 

 

Боброва, Ю. С. 
О93  
Оценка погрешности позиционирования прецизионного 
оборудования : методические указания к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Основы проектирования и эксплуатации нанотехнологического оборудования» / Ю. С. Боброва, А. Т. Каменихин, Ю. Н. Литвак. — Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. — 33, [3] с. : ил.  
ISBN 978-5-7038-4669-8 
Рассмотрен технологический процесс изготовления многослойных печатных плат, позволяющий сформулировать требования к качеству выполнения операций, связанных с точным позиционированием инструмента. 
Приведены сравнительный анализ прецизионных приводов, их состав и 
ожидаемая точность позиционирования. 
Для студентов, обучающихся по специальностям «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии». 

 
    УДК 621.3.049.75; 621.95 
 
    ББК 34.41 
 

 
 
 
 
 
 
© МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2017 
 
© Оформление. Издательство  
ISBN 978-5-7038-4669-8 
 
МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2017 

Предисловие 

Производство изделий микроэлектроники и наноинженерии 
ставит на передний план проблему сверхточного позиционирования функциональных механизмов при выполнении ими установочных перемещений, в том числе по нескольким координатам. 
Учебная цель методических указаний состоит в формировании 
у студентов навыков экспериментальной оценки точностных параметров прецизионного оборудования и умения проводить корректировку работы привода установки для снижения погрешностей ее позиционирования.  
Основная часть методических указаний посвящена процедуре 
проведения эксперимента на трехкоординатном обрабатывающем 
центре Bungard, методике обработки полученных результатов и их 
сравнению с результатами, полученными после корректировки 
управляющей программы.  
После выполнения лабораторной работы студенты смогут 
формулировать требования к точности позиционирования при выполнении операций, заключающихся в точных установочных перемещениях инструмента или изделия, анализировать причины 
возникновения погрешностей при работе на прецизионном оборудовании, применять методы оценки точности оборудования, основанные на измерении погрешности обработки тестового образца. 
Кроме того, при выполнении работ по разработанной программе студенты приобретут практические навыки сверления отверстий на прецизионном трехкоординатном обрабатывающем центре 
Bungard CCD/MTC (Германия), измерения координат положения 
отверстий, используя специальные средства измерения, а также 
обучатся обрабатывать результаты и, опираясь на знание структуры привода, будут способны разработать рекомендации по повышению точности оборудования. 
Непосредственно перед выполнением лабораторных работ для 
студентов будет проведен инструктаж по технике безопасности.  

Для оценки уровня подготовленности студентов к выполнению 
лабораторных работ преподаватели их опросят.  
После выполнения работы необходимо представить индивидуальный отчет по форме, приведенной в Приложении, включив 
в него ответы на контрольные вопросы. По результатам проверки 
правильности оформления отчета и защиты лабораторной работы 
студенту присваивают рейтинговый балл, который учитывается 
при оценке модуля по дисциплине «Основы проектирования и 
эксплуатации нанотехнологического оборудования». 
Методические указания включают в себя теоретическое описание, характеристику оборудования, рекомендации к выполнению 
лабораторных работ. Отдельная часть посвящена технике безопасности. Приведены литературные источники.