Электрофизические и оптические свойства тонких пленок ZnSe в различных структурных состояниях
Покупка
Основная коллекция
Тематика:
Оптика
Издательство:
Удмуртский Государственный университет
Год издания: 2005
Кол-во страниц: 6
Дополнительно
Доступ онлайн
49 ₽
В корзину
Скопировать запись
Фрагмент текстового слоя документа размещен для индексирующих роботов
ВЕСТНИК УДМУРТСКОГО УНИВЕРСИТЕТА ФИЗИКА 2005. №4 УДК 538.9 Р. Г. Валеев, П. Н. Крылов, В. Ф. Кобзиев, Э. А. Романов ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК ZnSe В РАЗЛИЧНЫХ СТРУКТУРНЫХ СОСТОЯНИЯХ Различными методами изучалась структура, электрофизические и оптические свойства полупроводниковых тонких пленок ZnSe, полученных методом испарения в высоком вакууме. При температурах конденсации в интервале 20200 0 C синтезированы пленки ZnSe в различных структурных состояниях и исследованы их спектры пропускания, отражения и поглощения в видимом диапазоне. Ключевые слова: ZnSe, тонкие пленки, структура, электрофизические и оптические свойства. Введение Селенид цинка (ZnSe) в пленочном исполнении принадлежит к числу наиболее перспективных широкозонных материалов А 2 В 6 и находит широкое применение в устройствах коротковолновой полупроводниковой электроники и системах отображения информации [1, 2]. К тому же ZnSe относится к числу материалов, которые могут иметь фазы переменного состава, что требует прецизионного контроля условий синтеза пленок в процессе напыления [1]. 1. Получение и структурные исследования образцов Пленки ZnSe получены на модернизированной установке УВН 71-П3 [3] методом термического дискретного испарения порошка ZnSe. Порошок ссыпался из вибробункера на танталовый тигель и испарялся на ситалловую подложку размером 30x10x1 мм в вакууме 5·10−3 Па. Нагрев испарителя производился до температуры 1300-1400 ◦ С. Расстояние от испарителя до подложки - 200 мм. При этом время напыления t составляло 10 мин., температура конденсации T k =20, 100, 150, 200 ◦ С, скорость напыления 6-10 ˚A/c. Анализ химического состава полученных пленок проводился методом вторичной ионной масс-спектрометрии. Микроструктура образцов была исследована методом микродифракции на просвечивающем электронном микроскопе УЭМВ-100К (рис.1.). По данным этих исследований с использованием методики [4] была построена зависимость среднего диаметра зёрен плёнок ZnSe от температуры конденсации. Средняя величина зёрен изменяется от 17 до 43 нм с ростом температуры от комнатной
Доступ онлайн
49 ₽
В корзину